高纯石英入选国家2024版重点新材料首批次应用示范指导目录发布
2024-03-31 01:53:41
工业和信息化部发布《工业和信息化部关于发布重点新材料首批次应用示范指导目录(2024年版)的通告》。
《目录》将于2024年1月1日起实施,《重点新材料首批次应用示范指导目录(2021年版)》(工信部原函〔2021〕384号)同时废止。
新版《目录》包括先进基础材料、关键战略材料、前沿新材料等三大类共299种产品,较早前发布的征求意见稿多3种,比2021版减少了8种。
“SAGSI硅基新材料”针对2024版《目录》中有关高纯石英、多晶硅、单晶硅、碳化硅、氮化硅、硅基电子特气等领域的重点新材料进行了汇总,这些材料的最新性能要求如下:
(1)石英扩散管:外径300~400mm,偏壁厚≤0.6mm,金属杂质含量≤13ppm;
(2)石英外管、 内管、 工艺管、 石英舟:羟基含量≤30ppm, 垂直度≤1mm, 管口平面度≤0.1mm, 壁厚偏差≤0.5mm;
(3)电熔锭材类:羟基含量低于30ppm, 总金属杂质含量≤50ppm。
(1)紫外光学用石英玻璃:直径或对角线mm, 光学非均匀性≤4×10-6, 应力≤5nm/cm, 条纹度5级;
(2)光纤用高纯石英:SiO2含量≥99.95%;热变色性:试样在1100℃条件下保温2h,透射比变化值不大于4%;双折射:Ⅰ类;
(3)耐紫外辐照用石英玻璃:应力双折射小于1nm/cm,有效口径内的折射率均匀性≤2ppm,用于图像显影用的石英透镜材料折射率均匀性≤0.5ppm;
(4)太阳能用石英玻璃及制品:金属杂质含量≤30ppm(Al,B,Ca,Co,Cu,Fe,K,Li, Mg,Mn,Na,Ni,Ti) ;器件羟基含量≤300ppm。